产品简介
＊平行平晶是以光波干涉原理为基础，利用平晶的测量面与试件的被测量面之间所出现的干涉条纹来测量被测量面的误差程度。
＊平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
＊平行平晶用于检定千分尺、杠杆千分尺、杠杆卡规和千分尺卡规等量具测量面的平面度和两相对测量的平行度。平行平晶共分四个系列，每个系列各分六组，每组四块。
产品名称平行平晶
功能：平行平晶用于干涉法测量千分尺、卡规和千分表等测量面平面度、平面平行度。
产品规格：
每组平行平晶共四块，分四个尺寸系列组
测量范围：组I系列：0～25mm
组II系列：25～50mm
组III系列：50～75mm
组IV系列：75～100mm
测量面上平面度偏差＜0.1μm
平面度局部偏差＞0.03μm
测量面平行度误差：组I系列允差值：0.06μm
组II，III系列允差值：0.08μm
组IV系列允差值：0.1μm
平晶直径φ30mm，φ40mm，φ40mm，φ50mm
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组号
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0-25
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25-50
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50-75
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75-100
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1
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15.00,15.12
15.25,15.39
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40.00,40.12
40.25,40.37
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65.00,65.12
65.25,65.37
|
90.00,90.12
90.25,90.37
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|
2
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15.12,15.25
15.37,15.50
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40.12,40.25
40.37,40.50
|
65.12,65.25
65.37,65.50
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90.12,90.25
90.37,90.50
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3
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15.25,15.37
15.50,15.62
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40.25,40.37
40.50,40.62
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65.25,65.37
65.50,65.62
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90.25,90.37
90.50,90.62
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4
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15.37,15.50
15.62,15.75
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40.37,40.50
40.62,40.75
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65.37,65.50
65.62,65.75
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90.37,90.50
90.62,90.75
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5
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15.50,15.62
15.75,15.87
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40.50,40.62
40.75,40.87
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65.50,65.62
65.75,65.87
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90.50,90.62
90.75,90.87
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6
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15.62,15.75
15.87,16.00
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40.62,40.75
40.87,41.00
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65.62,65.75
65.87,66.00
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90.62,90.75
90.87,91.00
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检测方法：
用干涉条纹来计算平晶的面形误差
如果要定量计算，一般最好是用移相干涉法，可以得到每一点的相对高度，从而得到整个面的面形。如果只有一幅干涉图，就只能倾斜平晶或者参考镜使得干涉条纹变成密集的直线组，然后用傅里叶变换法求解。
如果只是定性的看一看面形好坏则比较简单了，如果条纹都是直条纹，说明面形是好的，如果条纹弯的就说明面形不好，弯的越厉害面形越差。