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1．冗余系统
所谓冗余系统是指系统中有多余的部分，没有它系统照样工作，但在系统出现故障时，这多余的部分能立即替代故障部分而使系统继续正常运行。冗余系统一般是在控制系统中最重要的部分（如CPU模块）由两套相同的硬件组成，当某一套出现故障立即由另一套来控制。是否使用两套相同的I/O模块，取决于系统对可靠性的要求程度。
两套CPU模块使用相同的程序并行工作，其中一套为主CPU模块，一块为备用CPU模块。在系统正常运行时，备用CPU模块的输出被禁止，由主CPU模块来控制系统的工作。同时，主CPU模块还不断通过冗余处理单元（RPU）同步地对备用CPU模块的I/O映像寄存器和其它寄存器进行刷新。当主CPU模块发出故障信息后，RPU在1～3个扫描周期内将控制功能切换到备用CPU。I/O系统的切换也是由RPU来完成。
a)冗余系统b)热备用系统
2．热备用系统
热备用系统的结构较冗余系统简单，虽然也有两个CPU模块在同时运行一个程序，但没有冗余处理单元RPU。系统两个CPU模块的切换，是由主CPU模块通过通信口与备用CPU模块进行通信来完成的。两套CPU通过通讯接口连在一起。当系统出现故障时，由主CPU通知备用CPU，并实现切换，其切换过程一般较慢。
部分型号：
集成块 A20B-2902-0130/03 数量3
集成块 A20B-2902-0140/04 数量3
接触器 700-CF310KD 线圈110V 50/60HZ 数量10 A-B
接触器 100-C12EJ10 线圈24V DC 数量10
A06B-0227-B000
6SE7032-7EB87-2DA1 数量1
SST-PFB-CLX
24V直流电源板（CVD加热腔室） PSA25L-XXX 8 块
6DR5010-0NG01-0AA1
V001+7959126+7959131
驱动器 AP-A030/120 TOYODA 数量1
驱动器 MC1K-U050D TOYODA 数量1
驱动器 MG-U030 TOYODA 数量1
驱动器 MG-U050 TOYODA 数量1
接触子 87-22500114-2
M5 总长50 前端硬质合金 丰田工机 数量5
1746-NT8 17900 2个
ABB CM-PVN
BEDIA液压油油温传感器 Ni1000 420110
BEDIA液压油油温传感器 PT100 420341
U2001A 安捷伦
DCS继电器板 块 4 FOXBORO 12交流+4直流继电器板，AD207YF
DCS继电器板 块 8 FOXBORO 16交流继电器板 AD207YD
R88A MCW151 DRT E配件
R88A MCW151 DRT E配件
R88A MCW151 DRT E配件
DCS继电器板 块 4 FOXBORO 16直流继电器板,AD207YE
模拟量输出模块 6ES73325HF000AB0
模拟量输出模块 6ES73325HF004AB1
模拟量输出模块 6ES73325HF004AB2
6ES73340CE010AA0 1个
REF542PLUS
AB 1769-L33ER qty: 2 pcs
1769-L30ERM qty 1pc
AB 1769-IR6 qty: 1 pc
1) 6DP1232-8BA 数量: 4 件
2) 6DP1511-8AA 数量: 3 件
3) 6DP1210-8BC 数量: 3 件
4) 6DP1230-8CC 数量: 3 件