技术原理：
（1） 采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，尖端放电形式产生等离子体；低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，能够在毫秒级的时间内，把空气和废气分子击穿，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度、高能量的活性自由基和各种电子、离子等混合气体，瞬间对废气分子进行氧化还原等一系列反应。
（2） 放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
（3） 基本过程：
过程一：高能电子的直接轰击
过程二：O原子或臭氧的氧化O2+e→2O
过程三：OH自由基的氧化H2O+e→OH+H、H2O+O→2OH、H+O2→OH+O
过程四：分子碎片+氧气的反应
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